潔凈室屬生產(chǎn)輔助性工程。在半導(dǎo)體制造過(guò)程中需要嚴(yán)格控制制程污染。為減少或避免由于細(xì)菌、病毒、雜質(zhì)等污染因子導(dǎo)致的產(chǎn)品缺陷,半導(dǎo)體工藝通常需要在潔凈室環(huán)境下完成。
半導(dǎo)體潔凈室具有不論外在空氣條件如何變化,其室內(nèi)均具有維持原先所設(shè)定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能的特性,對(duì)半導(dǎo)體成品率有直接影響。新建半導(dǎo)體潔凈室廠(chǎng)務(wù)工程需要采用大量高潔凈應(yīng)用材料,潔凈室出現(xiàn)污染、泄露、控制錯(cuò)誤等問(wèn)題都會(huì)造成嚴(yán)重良率與安全事故,因而對(duì)其的潔凈度、精密度與可靠性要求極高。
新建廠(chǎng)務(wù)工程主要包括:
A、半導(dǎo)體項(xiàng)目不同化學(xué)品包括清洗液、CMP 拋光液、濕法刻蝕液、廢液等都需鋪設(shè)單獨(dú)管路;
B、常用的高純特種氣體有 30 多種,包括烷類(lèi)、鹵化物氣體以及其他氣體,具有易燃、易爆、劇毒等特性,均需鋪設(shè)單獨(dú)管路;
C、不同制程機(jī)臺(tái),需鋪設(shè)管路保證正常運(yùn)轉(zhuǎn)。管道、閥門(mén)等。據(jù)中國(guó)產(chǎn)業(yè)研究院數(shù)據(jù),2017 年全球潔凈室工程市場(chǎng)規(guī)模達(dá) 3959.4 億元,同比增長(zhǎng)約 13.2%。保守預(yù)計(jì)至 2021 年,全球潔凈室工程市場(chǎng)規(guī)模達(dá) 5797 億元。在光伏、光電、生物科技、半導(dǎo)體等應(yīng)用行業(yè),國(guó)內(nèi)廠(chǎng)商極少,主要競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手來(lái)自海外,相關(guān)概念股如下:
相關(guān)個(gè)股:
創(chuàng)元科技:疊加生物p3實(shí)驗(yàn)室。
三豐智能:公司與華景電通在半導(dǎo)體潔凈室搬運(yùn)系統(tǒng)(AMHS)裝備技術(shù)上正在進(jìn)行密切合作,目前全球半導(dǎo)體行業(yè)AMHS系統(tǒng)成熟技術(shù)僅有日本二家企業(yè)掌握,AMHS系統(tǒng)可以滿(mǎn)足半導(dǎo)體的細(xì)微化及液晶顯示器的精細(xì)化加工要求,可為生產(chǎn)的物流合理化提供各種系統(tǒng)解決方案。
萊應(yīng)材:潔凈室材料。
亞翔集成:高端潔凈室。